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類金剛石薄膜的兩種分類及構(gòu)成

類金剛石薄膜(DLC)是一種非晶薄膜,類金剛石薄膜(又稱DLC薄膜)可以分為兩種:氫化類金剛石碳膜和無氫類金剛石碳膜。


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氫化類金剛石碳膜責(zé)可分為類聚合物非晶態(tài)碳、類石墨碳及類金剛石碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時還結(jié)合一定數(shù)量的氫構(gòu)成;無氫類金剛石碳膜責(zé)是由a-C膜和四面體非晶碳構(gòu)成。http://whowit.com.cn/

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